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DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法

下载格式:pdf标准分类:地方标准

DB35/T 1146-2011标准基本信息

标准名称:硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法

标准号:DB35/T 1146-2011

发布日期:2011-04-10

实施日期: 2011-07-10

制修订:制定

中国标准分类:H80

国际标准分类:29.045

技术归口:中国科学院福建物质结构研究所

批准发布部门:福建省质量技术监督局

行业分类:科学研究和技术服务业

标准类别:方法标准

起草单位:中国科学院福建物质结构研究所

起草人:黄丰,吕佩文,陈伦泰,王永好,林璋,黄瑾

本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法(G D M S )所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。 本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、N a、M g、A 1、P、K、T h、U等元素的测定

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