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DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氢硅

下载格式:pdf标准分类:地方标准

DB53/T 499-2013标准基本信息

标准名称:多晶硅用三氯氢硅

标准号:DB53/T 499-2013

发布日期:2013-08-01

实施日期: 2013-10-01

制修订:制定

中国标准分类:G 10

国际标准分类:71.060.99

技术归口:云南省质量技术监督局

批准发布部门:云南省质量技术监督局

行业分类:制造业

标准类别:产品标准

起草单位:昆明冶研新材料股份有限公司

起草人:金波、亢若谷、马启坤、赵建为、赵祖乔、罗平、张云晖、李仕勇、宋东明、韩小月

本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容。本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅。

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