DB35/T 1873-2019标准基本信息
标准名称:热喷涂旋转硅靶材通用技术条件
标准号:DB35/T 1873-2019
发布日期:2019-12-19
实施日期: 2020-03-19
制修订:制定
中国标准分类:H 72
国际标准分类:ICS 77.150.99
技术归口:福建省工业和信息化厅
批准发布部门:福建省市场监督管理局
行业分类:制造业
标准类别:产品标准
起草单位:福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。
起草人:张科、任小英、陈钦忠、郑建文、林志河、汪家兵、陈丹红。
本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于以高纯硅粉为原料,添加微量物质后,采用等离子喷涂工艺,将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。