GB/T 1554-1995标准基本信息
标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
标准号：GB/T 1554-1995
发布日期：1995-04-18
实施日期：1995-12-01
被代替日期：2010-06-01
中国标准分类：H26
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
峨嵋半导体材料厂。
GB/T 1554-1995预览图：
