GB/T 4058-1995标准基本信息
标准名称:硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
标准号:GB/T 4058-1995
发布日期:1995-04-18
实施日期:1995-12-01
被代替日期:2010-06-01
中国标准分类:H26
国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验,77.040.30 金属材料化学分析
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
峨嵋半导体材料厂。
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