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GB/T 6617-1995 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 6617-1995标准基本信息

标准名称:硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

标准号:GB/T 6617-1995

发布日期:1995-04-18

实施日期:1995-12-01

被代替日期:2010-06-01

中国标准分类:H21

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《硅片电阻率测定 扩展电阻探针法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

上海有色金属研究所。

GB/T 6617-1995预览图:

GB/T 6617-1995 硅片电阻率测定  扩展电阻探针法

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