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GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 15615-1995标准基本信息

标准名称:硅片抗弯强度测试方法

标准号:GB/T 15615-1995

发布日期:1995-07-12

实施日期:1996-02-01

废止日期:2004-10-14

中国标准分类:H23

国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验,77.040.01 金属材料试验综合

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《硅片抗弯强度测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

中南工业大学。

GB/T 15615-1995预览图:

GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

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