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GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 4298-1984标准基本信息

标准名称:半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

标准号:GB/T 4298-1984

发布日期:1984-03-28

实施日期:1985-03-01

废止日期:2017-12-15

中国标准分类:H17

归口单位:中国有色金属工业协会

执行单位:中国有色金属工业协会

主管部门:中国有色金属工业协会

国家标准《半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。

有色金属研究总院。

GB/T 4298-1984预览图:

GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

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