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GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 15862-1995标准基本信息

标准名称:离子注入机通用技术条件

标准号:GB/T 15862-1995

发布日期:1995-12-22

实施日期:1996-08-01

被代替日期:2013-02-15

中国标准分类:L97

国际标准分类:31 电子学,31.200 集成电路、微电子学

归口单位:工业和信息化部(电子)

执行单位:工业和信息化部(电子)

主管部门:工业和信息化部(电子)

国家标准《离子注入机通用技术条件》由339-1(工业和信息化部(电子))归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。

电子工业部第四十八研究所。

GB/T 15862-1995预览图:

GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件

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