GB/T 15871-1995标准基本信息
标准名称：硬面光掩模基板
标准号：GB/T 15871-1995
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
中国标准分类：L97
国际标准分类：31 电子学，31.030 电子技术专用材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
长沙韶光微电子总公司。
GB/T 15871-1995预览图：
