GB/T 16879-1997标准基本信息
标准名称：掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
标准号：GB/T 16879-1997
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
中国标准分类：L97
国际标准分类：31 电子学，31.020 电子元器件综合
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国科学院微电子中心。
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