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GB/T 17170-1997 非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 17170-1997标准基本信息

标准名称:非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法

标准号:GB/T 17170-1997

发布日期:1997-12-22

实施日期:1998-08-01

被代替日期:2016-07-01

中国标准分类:H21

国际标准分类:29 电气工程,29.045 半导体材料

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

电子工业部第四十六研究所。

GB/T 17170-1997预览图:

GB/T 17170-1997 非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法

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