GB/T 17864-1999标准基本信息
标准名称：关键尺寸(CD)计量方法
标准号：GB/T 17864-1999
发布日期：1999-09-13
实施日期：2000-06-01
中国标准分类：L56
国际标准分类：31 电子学，31.200 集成电路、微电子学
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《关键尺寸(CD)计量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国科学院微电子中心。
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