GB/T 17866-1999标准基本信息
标准名称：掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
标准号：GB/T 17866-1999
发布日期：1999-09-13
实施日期：2000-06-01
中国标准分类：L56
国际标准分类：31 电子学，31.200 集成电路、微电子学
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国科学院微电子中心。
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