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GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 18682-2002标准基本信息

标准名称:物理气相沉积TiN薄膜技术条件

标准号:GB/T 18682-2002

发布日期:2002-03-10

实施日期:2002-08-01

中国标准分类:A29

国际标准分类:25 机械制造,25.220 表面处理和镀涂,25.220.20 表面处理

归口单位:全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会

执行单位:全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会

主管部门:中国机械工业联合会

国家标准《物理气相沉积TiN薄膜技术条件》由TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国机械工业联合会。

武汉材料保护研究所。

GB/T 18682-2002预览图:

GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件

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