GB/T 18867-2002标准基本信息
标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
标准号：GB/T 18867-2002
发布日期：2002-10-15
实施日期：2003-04-01
被代替日期：2015-07-01
中国标准分类：G86
国际标准分类：71 化工技术，71.100 化工产品，71.100.20 工业气体
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中核红华特种气体股份有限公司。
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