GB/T 19922-2005标准基本信息
标准名称:硅片局部平整度非接触式标准测试方法
标准号:GB/T 19922-2005
发布日期:2005-09-19
实施日期:2006-04-01
中国标准分类:H17
国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验,77.040.01 金属材料试验综合
归口单位:工业和信息化部(电子)
执行单位:工业和信息化部(电子)
主管部门:工业和信息化部(电子)
国家标准《硅片局部平整度非接触式标准测试方法》由339-1(工业和信息化部(电子))归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。
洛阳单晶硅有限责任公司。
GB/T 19922-2005预览图: