GB/T 41652-2022标准基本信息
标准名称：刻蚀机用硅电极及硅环
标准号：GB/T 41652-2022
标准名称：刻蚀机用硅电极及硅环
英文名称：Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
标准状态：即将实施
发布日期：2022-07-11
实施日期：2023-02-01
标准ICS号：29.045
中标分类号：H82
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
提出部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
本文件规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。本文件适用于p<100>直拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200 mm～450 mm的硅电极及硅环。
GB/T 41652-2022预览图：
