GB/T 41751-2022标准基本信息
标准名称:氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法
标准号:GB/T 41751-2022
发布日期:2022-10-14
实施日期:2023-02-01
标准类别:方法
中国标准分类:H21
国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司、厦门柯誉尔科技有限公司、山西华晶恒基新材料有限公司、福建兆元光电有限公司。
GB/T 41751-2022预览图: