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GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 41765-2022标准基本信息

标准名称:碳化硅单晶位错密度的测试方法

标准号:GB/T 41765-2022

发布日期:2022-10-14

实施日期:2023-05-01

标准类别:方法

中国标准分类:H21

国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《碳化硅单晶位错密度的测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

北京天科合达半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。

GB/T 41765-2022预览图:

GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法

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