GB/T 42274-2022标准基本信息
标准名称：氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
标准号：GB/T 42274-2022
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
标准类别：方法
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司。
主要起草人 齐俊杰 、魏学成 、闫丹 、李素青 、卫喆 、胡超胜 、李志超 、许磊 、王军喜 、李晋闽 、魏明 、刘江华 、张成荣 。
GB/T 42274-2022预览图：
