GB/T 42106-2022标准基本信息
标准名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
标准号：GB/T 42106-2022
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
标准类别：方法
中国标准分类号：A42
国际标准分类号：07 数学、自然科学，07.030 物理学、化学
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
国家标准《纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。
主要起草单位 中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院。
主要起草人 顾长志 、杨海方 、李俊杰 、刘前 、王益群 、樊阳波 。
GB/T 42106-2022预览图：
