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GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 42276-2022标准基本信息

标准名称:氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法

标准号:GB/T 42276-2022

发布日期:2022-12-30

实施日期:2023-04-01

标准类别:方法

中国标准分类号:H17

国际标准分类号:77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司。

主要起草人 银波 、邱艳梅 、刘国霞 、黄彬 、李素青 、张吉武 、宋炳信 、鲁文锋 、王港 、李玫 、张正霞 、吴英良 、侯倩慧 、王晓娇 、曹家凯 、高裕昆 、崔巍 。

GB/T 42276-2022预览图:

GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定  离子色谱法

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