GB/T 24580-2009标准基本信息
标准名称：重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
标准号：GB/T 24580-2009
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类：H80
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
GB/T 24580-2009预览图：
