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GB/T 26068-2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 26068-2010标准基本信息

标准名称:硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

标准号:GB/T 26068-2010

发布日期:2011-01-10

实施日期:2011-10-01

被代替日期:2019-11-01

中国标准分类:H80

国际标准分类:29 电气工程,29.045 半导体材料

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、中国计量科学研究院、洛阳单晶硅有限责任公司等。

GB/T 26068-2010预览图:

GB/T 26068-2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

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