GB/T 26068-2010标准基本信息
标准名称:硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
标准号:GB/T 26068-2010
发布日期:2011-01-10
实施日期:2011-10-01
被代替日期:2019-11-01
中国标准分类:H80
国际标准分类:29 电气工程,29.045 半导体材料
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、中国计量科学研究院、洛阳单晶硅有限责任公司等。
GB/T 26068-2010预览图: