GB/T 26113-2010标准基本信息
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
标准号：GB/T 26113-2010
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类：L55
国际标准分类：31 电子学，31.200 集成电路、微电子学
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。
GB/T 26113-2010预览图：
