GB/T 26070-2010标准基本信息
标准名称：化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
标准号：GB/T 26070-2010
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类：H17
国际标准分类：77 冶金，77.040 金属材料试验，77.040.99 金属材料的其他试验方法
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国科学院半导体研究所。
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