GB/T 26251-2010标准基本信息
标准名称:氟及氟氮混合气
标准号:GB/T 26251-2010
发布日期:2011-01-14
实施日期:2011-05-01
中国标准分类:G86
国际标准分类:71 化工技术,71.100 化工产品,71.100.20 工业气体
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《氟及氟氮混合气》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院。
GB/T 26251-2010预览图: