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GB/T 26251-2010 氟及氟氮混合气

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 26251-2010标准基本信息

标准名称:氟及氟氮混合气

标准号:GB/T 26251-2010

发布日期:2011-01-14

实施日期:2011-05-01

中国标准分类:G86

国际标准分类:71 化工技术,71.100 化工产品,71.100.20 工业气体

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《氟及氟氮混合气》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院。

GB/T 26251-2010预览图:

GB/T 26251-2010 氟及氟氮混合气

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