GB/T 11164-2011标准基本信息
标准名称：真空镀膜设备通用技术条件
标准号：GB/T 11164-2011
发布日期：2011-11-21
实施日期：2012-03-01
全部代替标准：GB/T 11164-1999
中国标准分类：J78
国际标准分类：23 流体系统和通用件，23.160 真空技术
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
执行单位：全国真空技术标准化技术委员会
主管部门：中国机械工业联合会
国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。
北京北仪创新真空技术有限责任公司、上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器有限公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等。
GB/T 11164-2011预览图：
