GB/T 28276-2012标准基本信息
标准名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
标准号：GB/T 28276-2012
发布日期：2012-05-11
实施日期：2012-12-01
中国标准分类：L55
国际标准分类：31 电子学，31.200 集成电路、微电子学
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
GB/T 28276-2012预览图：
