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GB/T 29057-2012 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 29057-2012标准基本信息

标准名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

标准号:GB/T 29057-2012

发布日期:2012-12-31

实施日期:2013-10-01

中国标准分类:H80

国际标准分类:29 电气工程,29.045 半导体材料

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司。

GB/T 29057-2012预览图:

GB/T 29057-2012 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

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