GB/T 29507-2013标准基本信息
标准名称：硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法
标准号：GB/T 29507-2013
发布日期：2013-05-09
实施日期：2014-02-01
中国标准分类：H80
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料股份有限公司。
GB/T 29507-2013预览图：
