GB/T 29506-2013标准基本信息
标准名称:300mm 硅单晶抛光片
标准号:GB/T 29506-2013
发布日期:2013-05-09
实施日期:2014-02-01
中国标准分类:H82
国际标准分类:29 电气工程,29.045 半导体材料
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《300mm 硅单晶抛光片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
GB/T 29506-2013预览图: