GB/T 29844-2013标准基本信息
标准名称：用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
标准号：GB/T 29844-2013
发布日期：2013-11-12
实施日期：2014-04-15
中国标准分类：L90
国际标准分类：31 电子学，31.030 电子技术专用材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
上海华虹NEC电子有限公司。
GB/T 29844-2013预览图：
