GB/T 30453-2013标准基本信息
标准名称：硅材料原生缺陷图谱
标准号：GB/T 30453-2013
发布日期：2013-12-31
实施日期：2014-10-01
中国标准分类：H80
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅材料原生缺陷图谱》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
有研半导体材料股份有限公司、东方电气集团峨眉半导体材料有限公司、南京国盛电子有限公司、杭州海纳半导体有公司、万向硅峰电子股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、中国有色金属工业标准化计量质量研究所。
GB/T 30453-2013预览图：
