GB/T 30867-2014标准基本信息
标准名称：碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
标准号：GB/T 30867-2014
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-02-01
中国标准分类：H83
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院。
GB/T 30867-2014预览图：
