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GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 31227-2014标准基本信息

标准名称:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

标准号:GB/T 31227-2014

发布日期:2014-09-30

实施日期:2015-04-15

中国标准分类:J04

国际标准分类:17 计量学和测量、物理现象,17.040 长度和角度测量,17.040.20 表面特征

归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会

执行单位:全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门:中国科学院

国家标准《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。

GB/T 31227-2014预览图:

GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

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