GB/T 31227-2014标准基本信息
标准名称:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
标准号:GB/T 31227-2014
发布日期:2014-09-30
实施日期:2015-04-15
中国标准分类:J04
国际标准分类:17 计量学和测量、物理现象,17.040 长度和角度测量,17.040.20 表面特征
归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位:全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门:中国科学院
国家标准《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
GB/T 31227-2014预览图: