GB/T 18867-2014标准基本信息
标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
标准号：GB/T 18867-2014
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
全部代替标准：GB/T 18867-2002
中国标准分类：G86
国际标准分类：71 化工技术，71.100 化工产品，71.100.20 工业气体
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。
GB/T 18867-2014预览图：
