GB/T 30653-2014标准基本信息
标准名称：Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
标准号：GB/T 30653-2014
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
中国标准分类：H21
国际标准分类：77 冶金，77.040 金属材料试验，77.040.20 金属材料无损检测
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国科学院半导体研究所。
GB/T 30653-2014预览图：
