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GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 31470-2015标准基本信息

标准名称:俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

标准号:GB/T 31470-2015

发布日期:2015-05-15

实施日期:2016-01-01

中国标准分类:N26

国际标准分类:17 计量学和测量、物理现象,17.220 电学、磁学、电和磁的测量,17.220.20 电和磁量值的测量

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。

GB/T 31470-2015预览图:

GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

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