GB/T 32280-2015标准基本信息
标准名称：硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法
标准号：GB/T 32280-2015
发布日期：2015-12-10
实施日期：2017-01-01
中国标准分类：H21
国际标准分类：77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
有研半导体材料股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、杭州海纳半导体有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、东莞市华源光电科技有限公司。
GB/T 32280-2015预览图：
