GB/T 32189-2015标准基本信息
标准名称：氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
标准号：GB/T 32189-2015
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
中国标准分类：H21
国际标准分类：77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司。
GB/T 32189-2015预览图：
