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GB/T 44926-2024 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

标准名称:纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法

标准号:GB/T 44926-2024

发布日期:2024-12-31

实施日期:2025-07-01

标准类别:方法

中国标准分类号:N51

国际标准分类号:17 计量学和测量、物理现象,17.040 长度和角度测量,17.040.30 测量仪器仪表

归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会

执行单位:全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门:中国科学院

国家标准《纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

主要起草单位 哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、昆明物理研究所、西安应用光学研究所、北京微电子技术研究所、航天科工防御技术研究试验中心。

主要起草人 刘俭 、施玉书 、刘辰光 、张树 、胡旭 、张云龙 、李冬梅 、冯慧 。

GB/T 44926-2024预览图:

GB/T 44926-2024 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法

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