标准名称:微电子学微光刻技术术语
标准号:GB/T 44928-2024
发布日期:2024-12-31
实施日期:2024-12-31
标准类别:基础
中国标准分类号:L90
国际标准分类号:31 电子学,31.030 电子技术专用材料
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会
主管部门:国家标准委
国家标准《微电子学微光刻技术术语》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC4(全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会)执行,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国科学院微电子研究所。
主要起草人 陈宝钦 、王香 、李和委 、王力玉 、李新涛 、冯伯儒 、薛丽君 、郝美玲 、薛彩荣 。
GB/T 44928-2024预览图: