标准名称：微电子学微光刻技术术语
标准号：GB/T 44928-2024
发布日期：2024-12-31
实施日期：2024-12-31
标准类别：基础
中国标准分类号：L90
国际标准分类号：31 电子学，31.030 电子技术专用材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会
主管部门：国家标准委
国家标准《微电子学微光刻技术术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国科学院微电子研究所。
主要起草人 陈宝钦 、王香 、李和委 、王力玉 、李新涛 、冯伯儒 、薛丽君 、郝美玲 、薛彩荣 。
GB/T 44928-2024预览图：
