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GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准
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GB/T 34326-2017标准基本信息

标准名称:表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

标准号:GB/T 34326-2017

发布日期:2017-09-29

实施日期:2018-08-01

中国标准分类:G04

国际标准分类:71 化工技术,71.040 分析化学,71.040.40 化学分析

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

执行单位:全国微束分析标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

中国计量科学院。

GB/T 34326-2017预览图:

GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

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