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GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件

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GB/T 5226.33-2017标准基本信息

标准名称:机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件

标准号:GB/T 5226.33-2017

发布日期:2017-10-14

实施日期:2018-05-01

中国标准分类:J09

国际标准分类:29 电气工程,29.020 电气工程综合

归口单位:全国工业机械电气系统标准化技术委员会

执行单位:全国工业机械电气系统标准化技术委员会

主管部门:中国机械工业联合会

国家标准《机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件》由TC231(全国工业机械电气系统标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国机械工业联合会。

中微半导体设备(上海)有限公司、北京机床研究所、上海微电子装备有限公司、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、沈阳拓荆科技有限公司、北京七星华创电子股份有限公司、中晟光电设备(上海)有限公司、理想太阳能(上海)有限公司、盛美半导体设备(上海)有限公司。

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GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件

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