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GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 34972-2017标准基本信息

标准名称:电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准号:GB/T 34972-2017

发布日期:2017-11-01

实施日期:2018-02-01

中国标准分类:G86

国际标准分类:71 化工技术,71.040 分析化学,71.040.40 化学分析

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

上海市计量测试技术研究院、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司。

GB/T 34972-2017预览图:

GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

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