GB/T 11073-1989标准基本信息
标准名称：硅片径向电阻率变化的测量方法
标准号：GB/T 11073-1989
发布日期：1989-03-31
实施日期：1990-02-01
被代替日期：2008-02-01
中国标准分类：H21
归口单位：中国有色金属工业协会
执行单位：中国有色金属工业协会
主管部门：中国有色金属工业协会
国家标准《硅片径向电阻率变化的测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
峨嵋半导体材料研究所。
GB/T 11073-1989预览图：
