GB/T 36646-2018标准基本信息
标准名称：制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
标准号：GB/T 36646-2018
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-01-01
中国标准分类：L95
国际标准分类：31 电子学，31.220 电子电信设备用机电元件
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。
GB/T 36646-2018预览图：
