GB/T 4060-2018标准基本信息
标准名称:硅多晶真空区熔基硼检验方法
标准号:GB/T 4060-2018
发布日期:2018-09-17
实施日期:2019-06-01
全部代替标准:GB/T 4060-2007
中国标准分类:H17
国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所。
GB/T 4060-2018预览图: